配有多种参数。估型表面精糙度测量同时配置分析功能。

装置配备 FORMTRACEPAK表面精糙度/轮廓分析程序。

标配高分辨率的Z1轴检出器，最高显示分辨力为0.0001um

(测量范围为8um时)。Z1轴的最高显示分辨力为0.0001pm（测量范围为8um时)

X轴驱动装置装配高精度玻璃光栅尺，实现X轴方向移动的高精准定位。

SV-3100系列为驱动装置采用陶瓷导轨以提高抗磨性，延长使用寿命。

X轴的分辨力为0.05um。

标准或低测力检出器(4mn/0.75mN)选择，无需考虑设备本体是否有装配倾斜装置。